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特點＆優(yōu)點 

u  設(shè)備可實現(xiàn)6、8英寸晶圓兼容

u  設(shè)備能實現(xiàn)晶圓正反面的自動翻轉(zhuǎn)與清洗；

u  設(shè)備可選擇配置有濕進(jìn)干出或者干進(jìn)干出;

u  每個腔室采用獨立空間，避免交叉污染；

u  腔室流場控制技術(shù)，保證廢氣及時排出；

u  專利刷頭設(shè)計，有效避免晶圓劃痕的產(chǎn)生；

u  刷頭潤濕及自清潔技術(shù)，避免引入顆粒；

u  設(shè)備集成4套、6套刷洗腔體，產(chǎn)能最高可達(dá)80片/小時；

u  SiC片表面顆粒去除能力可達(dá)到particle（@0.3um）≤5ea;

u  多級軟硬件安全互鎖，操作安全

u  軟件及硬件模塊化設(shè)計

u  實時記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能

u  工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速

u  設(shè)備占地面積小

u  支持?jǐn)U展SMIF自動傳輸

u  軟件支持SECS GEM接口，支持EAP  MES等功能（選配）

u  多路視頻監(jiān)控和錄像功能（選配）

u  靜電消除功能（選配）

u  優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量

u  多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲

u  自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)

u  擁有多項軟件著作權(quán)

u  PC上位機(jī)和PLC觸摸屏的控制和人機(jī)交互界面

u  系統(tǒng)自動排程，多工位并發(fā)處理，高效率運行

u  工藝預(yù)置，過程數(shù)據(jù)記錄和生產(chǎn)管理