歐組建FD-SOI產業(yè)聯(lián)盟,加速向先進制程推進
據(jù)外媒報道,CEA、Soitec、格芯和意法半導體日前宣布將在下一代FD-SOI(全耗盡絕緣體上硅)技術上展開合作。
據(jù)報道,當前意法半導體可實現(xiàn)28nm FD-SOI量產,而格芯在德國德累斯頓擁有一家生產設施,采用22nm制程的22FDX工藝。FD-SOI在低功耗應用上具有顯著優(yōu)勢,制造工藝也較FinFET簡化。
技術研究中心CEA-Leti認為,F(xiàn)D-SOI制程可以擴展到10nm以下。
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